帶報(bào)警磁翻板液位計(jì)是玻璃基板在進(jìn)行涂布、曝光、顯影、鍍膜等制程前對(duì)玻璃表面進(jìn)行清潔、干燥處理的設(shè)備機(jī)臺(tái)。故障發(fā)生是在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中無(wú)法避免的問(wèn)題，本文主要闡述了帶報(bào)警磁翻板液位計(jì)常見(jiàn)故障發(fā)生的原因及處理辦法，只有熟悉故障發(fā)生的確切原因，了解相關(guān)的處理辦法才能更好的使用帶報(bào)警磁翻板液位計(jì)來(lái)幫助我們加工生產(chǎn)更多優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品，提高生產(chǎn)效率及良率。
1.傳送故障
1.1 故障說(shuō)明
Sensor OFF/on Gap Alarm即故障位置玻璃基板與前進(jìn)位置玻璃基板間距過(guò)小，有疊片風(fēng)險(xiǎn)；In/Out sensor Alarm即有玻璃信息時(shí)，IN/OUT 傳感器未點(diǎn)亮，無(wú)玻璃信息時(shí),IN/OUT 傳感器點(diǎn)亮；sensor Off/on time over Alarm即傳感器在設(shè)定時(shí)間內(nèi)沒(méi)有OFF/ON，導(dǎo)致超時(shí)報(bào)警。
1.2 可能的原因
1）故障位置或前進(jìn)位置馬達(dá)傳送機(jī)構(gòu)異常；
2）傳感器狀態(tài)異常，造成誤感；
3）傳感器損壞；
4）玻璃基板破片。
1.3 故障處理辦法
1）確認(rèn)馬達(dá)傳送機(jī)構(gòu)，對(duì)應(yīng)處理后，設(shè)備重新運(yùn)轉(zhuǎn)；
2）確認(rèn)傳感器高度、感應(yīng)ON/OF狀態(tài)，設(shè)備重新Reset運(yùn)轉(zhuǎn)；
3）更換損壞傳感器,確認(rèn)OK后，設(shè)備重新運(yùn)轉(zhuǎn)；
4）按照安全作業(yè)流程清除破片，檢查故障位置傳送機(jī)構(gòu)：傳送機(jī)構(gòu)、Guide Roller、Double Roller，SWR 噴淋狀態(tài)等，確認(rèn)OK后，設(shè)備重新運(yùn)轉(zhuǎn)。
2.流量故障
2.1 故障說(shuō)明
Upper/Lower shower flow /High Alarm即供液時(shí)流量超限位過(guò)低/高；shower Flow Minimum Alarm即供液時(shí)流量過(guò)低或者無(wú)流量。
2.2 可能的原因
1）Filter、 噴淋?chē)娮於氯龋?br /> 2）流量調(diào)整錯(cuò)誤；
3）供液 PUMP 損壞。
2.3 故障處理辦法
1）更換Filter、清理噴嘴；
2）調(diào)整流量至規(guī)格值內(nèi)；
3）更換供液 Pump。處理后重新Reset運(yùn)轉(zhuǎn)，確認(rèn)供液時(shí)存在流量，需在Setup中的Pipe I/L 畫(huà)面進(jìn)行流量Setting OK后，確認(rèn)故障解除。
3.伺服電動(dòng)機(jī)故障
3.1 故障說(shuō)明
Servo Driver Alarm即Servo Driver 報(bào)錯(cuò)信息異常；cw / ccw Limit Alarm即伺服電動(dòng)機(jī)正轉(zhuǎn)/反轉(zhuǎn)限位傳感器 感應(yīng)到。
3.2 可能的原因
1）伺服電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)過(guò)載；
2）伺服電動(dòng)機(jī)通訊線、驅(qū)動(dòng)器 損壞；
3）電機(jī)驅(qū)動(dòng)器 斷電或顯示異常；
4）手動(dòng)JOG 移動(dòng)超*限，導(dǎo)致報(bào)警。
3.3 故障處理辦法
1）確認(rèn)機(jī)構(gòu)是否存在干涉現(xiàn)象，再次手動(dòng)JOG至原點(diǎn)傳感器信號(hào)ON時(shí)進(jìn)行，伺服回原點(diǎn)；
2）更換伺服電動(dòng)機(jī)通訊線、驅(qū)動(dòng)器；
3）重啟電機(jī)驅(qū)動(dòng)器電源；
4）確認(rèn)手動(dòng)操作是否會(huì)造成機(jī)構(gòu)干涉過(guò)載。在手動(dòng)狀態(tài)下，確認(rèn)伺服驅(qū)動(dòng)器是否顯示報(bào)警，顯示報(bào)警時(shí)需要重新將伺服重啟。
4.破片故障
4.1 故障說(shuō)明
In/Out Broken Alarm即IN/OUT Broken 傳感器未檢測(cè)到玻璃基板。
4.2 可能的原因
1）導(dǎo)向滾輪磨損擠壓破片；
2）雙滾輪擠壓破片；
3）滾輪傳動(dòng)異常擠壓破片。
4.3 故障處理辦法
1）記錄各部件的磨損周期然后進(jìn)行定期更換。更換期內(nèi)定期巡檢易導(dǎo)致破片發(fā)生的部件，及時(shí)更換有導(dǎo)致破片風(fēng)險(xiǎn)的部件；
2）添加墊片向上抬高上滾輪的固定位置，通過(guò)調(diào)整機(jī)構(gòu)可以有效的減少玻璃基板在清洗過(guò)程中因雙滾輪夾持導(dǎo)致的破片；
3）對(duì)傳送齒輪添加潤(rùn)滑油，對(duì)滾輪軸承添加潤(rùn)滑劑等。破片故障發(fā)生后可以按照確認(rèn)位置、尋找碎片、取樣分析、比對(duì)位置、確認(rèn)真因、調(diào)整處理來(lái)解決故障發(fā)生。
5.水箱故障
5.1 故障說(shuō)明
1）TANK HH LEVEL Alarm即水箱中液位超HH上限；
2）TANK HH Interlock LEVEL Alarm即Tank interlock（水箱外透明PVC管)HH超上限；
3）TANK PUMP MCCB ALARM即水箱水泵保護(hù)開(kāi)關(guān)跳電。
5.2 可能的原因
1）Filter堵塞或流量規(guī)格調(diào)整錯(cuò)誤；
2）水箱液位超HH，報(bào)警異?；騣nterlock HH 傳感器誤感或損壞；
3）保護(hù)開(kāi)關(guān)跳電。
5.3 故障處理辦法
1）更換Filter并調(diào)整流量至規(guī)格值內(nèi)；
2）排除水箱內(nèi)多余純水，調(diào)整傳感器或更換傳感器；
3）檢查接線有無(wú)異常，重啟水泵保護(hù)開(kāi)關(guān)。
6.氣缸故障
6.1 故障說(shuō)明
Cylinder FW/BK 或UP Down Alarm即Cylinder 前進(jìn)/后退或上升/下降不到位。
6.2 可能的原因
1）氣缸供氣量不足；
2）Cylinder 前進(jìn)/后退或者上下感應(yīng)傳感器位置異常。
6.3 故障處理辦法
1）調(diào)整CDA供應(yīng)量；
2）調(diào)整傳感器位置。處理故障后，在Touch Panel Jod畫(huà)面進(jìn)行手動(dòng)操作到位，運(yùn)轉(zhuǎn)OK后Reset機(jī)臺(tái)。
7.水殘故障
7.1 故障說(shuō)明
玻璃基板在經(jīng)過(guò)帶報(bào)警磁翻板液位計(jì)清洗后再OUT CV處能觀察到基板表面有水跡殘留。
7.2 可能的原因
1）風(fēng)刀流量不足；
2）SWR段排氣過(guò)小,使水汽隨流至風(fēng)刀擋板上凝結(jié)；
3）風(fēng)刀前后idle roller高度異常；
4）風(fēng)刀角度異常。
7.3 故障處理辦法
1）調(diào)整風(fēng)刀CDA流量至規(guī)格值內(nèi)(上風(fēng)刀需大于下風(fēng)刀約200lpm)；
2）調(diào)整SWR段排氣；
3）調(diào)整風(fēng)刀前后idle roller高度與基板搬送水平一致；
4）調(diào)整風(fēng)刀角度。調(diào)整后通過(guò)cold run玻璃基板來(lái)檢查水殘是否消失。
8.結(jié)語(yǔ)
設(shè)備故障率是指設(shè)備故障停機(jī)時(shí)間與設(shè)備應(yīng)開(kāi)動(dòng)時(shí)間的比，是考核設(shè)備的技術(shù)狀態(tài)、故障強(qiáng)度、維修質(zhì)量和效率的一個(gè)指標(biāo)。如何降低帶報(bào)警磁翻板液位計(jì)的故障率是從事相關(guān)產(chǎn)業(yè)人員必須關(guān)注的目標(biāo)，對(duì)發(fā)生過(guò)的故障進(jìn)行原因分析，有針對(duì)性的進(jìn)行預(yù)防管理可以有效的降低故障率，從而提高生產(chǎn)效率，達(dá)到提速降本的效果。